Feb 22, 2024 پیام بگذارید

کاربرد تنگستن در ساختار سوراخ تماسی

سوراخ تماس دهانه عایق بین لایه فلزی و ناحیه فعال یا پلی سیلیکون است. این یک ساختار کلیدی در میکروالکترونیک است که معمولاً به صورت عمودی در ویفر سیلیکونی حک می شود و برای اتصال اولین اتصال فلزی و دستگاه بستر استفاده می شود و با فلزاتی مانند تنگستن پر می شود. اغلب در ساخت مدارهای مجتمع برای ایجاد اتصالات الکتریکی بین لایه های مختلف مدار استفاده می شود.

info-700-466
از آنجایی که کیفیت سوراخ تماس مستقیماً بر عملکرد و قابلیت اطمینان کل مدار تأثیر می گذارد، سوراخ تماسی باید با در نظر گرفتن عوامل زیادی مانند عملکرد الکتریکی، پایداری حرارتی، استحکام مکانیکی و قابلیت تولید طراحی و ساخته شود. برای اطمینان از اتصالات الکتریکی خوب و مقاومت کمتر، سوراخ های تماس معمولاً با فلز یا سایر مواد رسانا پر می شوند. در عین حال، برای جلوگیری از آسیب های مکانیکی و خوردگی شیمیایی، محیط سوراخ تماس معمولا با یک لایه محافظ پوشانده می شود.

info-700-466

ارسال درخواست

صفحه اصلی

تلفن

ایمیل

پرس و جو