سنتز نیترید سیلیکون برای اولین بار در سال 1857 توسط هنری ادوارد سنت-کلان دیویل و فردریش وولر گزارش شد. در سنتز آنها ، یک صلیب با سیلیکون در یک مصلوب پر از کربن قرار داده شده و گرم می شود تا نفوذ اکسیژن را کاهش دهد. آنها محصولی را گزارش کردند که آنها را نیترید سیلیکون می نامیدند ، اما قادر به تعیین ترکیب شیمیایی آن نبودند.
در سال 1879 ، پل شوتزنبرگر این محصول را با گرم کردن سیلیکون مخلوط شده با ماده آستر (خمیری که می تواند به عنوان یک آستر قابل حمل به دست آمده با مخلوط کردن ذغال سنگ ، بریکت زغال سنگ ، یا کک با خاک رس) در یک کوره انفجار به دست آورد و آن را به عنوان یک ترکیب با SI3N4 گزارش داد. در سال 1910 ، لودویگ ویس و تئودور انگلارد با گرم کردن سیلیکون ابتدایی در نیتروژن خالص SI3N4 را تولید کردند. در سال 1925 ، فردریش و سیتگ با گرم کردن دی اکسید سیلیکون و کربن در یک جو نیتروژن ، نیترید سیلیکون را سنتز کردند تا با استفاده از کاهش حرارتی کربن ، درجه {7}.
