کاربید سیلیکون به شکل یک ترکیب وجود دارد. آن و اکسیژن می توانند اکسیدهای پایداری را تشکیل دهند. وظیفه اصلی آن تولید آلیاژهای مختلف است.
در فرآیند تولید آن از کوارتز و سیلیس عمدتاً به عنوان مواد اولیه استفاده می شود و به روش الکتروترمال تولید می شود. کاربید سیلیکون معمولی با توجه به رنگ آن به دو نوع تقسیم می شود: کاربید سیلیکون سیاه و کاربید سیلیکون سبز. محتوای سیلیکون در کاربید سیلیکون سیاه کمی کمتر از کاربید سیلیکون سبز است. در حالی که چقرمگی کاربید سیلیکون سیاه بیشتر از کاربید سیلیکون سبز است، می توان از آن برای مواد با مقاومت فشاری پایین تر مانند سرامیک، مواد نسوز و غیره استفاده کرد. و کاربید سیلیکون سبز خاصیت خود تیز شوندگی خوبی دارد و می توان از آن برای پردازش کاربید سیمانی، آلیاژهای تیتانیوم و برخی ابزارهای فولادی پرسرعت آسیاب شده استفاده کرد.
نیترید فروسیلیس دارای خواص خوب در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و خواص تف جوشی، هدایت حرارتی بالا، ضریب انبساط حرارتی کوچک و مزایای دیگر است. علاوه بر استفاده گسترده در گل کوره بلند، در دیرگدازهای حاوی کربن نیز استفاده می شود. چشم انداز کاربرد گسترده ای در مواد نسوز مانند مواد ساختاری با دمای بالا و ریخته گری منیزیم دارد. از آنجایی که روشهای رسوبگذاری متفاوت است، فیلمهای نیترید سیلیکون تولید شده نیز متفاوت هستند و همچنین تفاوتهایی بین تنش و تنش وجود خواهد داشت. به خصوص هنگامی که از فناوری رسوب شیمیایی بخار افزایش یافته با پلاسما استفاده می شود، می توان پارامترهای رسوب را برای کاهش کشش آن تنظیم کرد.
